一种新型500MHz声表面波氨气传感器的研究  

Study on 500MHz SAW NH_3 Gas Sensor

作　　者：张可珺[1] 江洪敏[2] 陈伟[1] 杜波[2] 贾双荣[1] 邓少丽[1] 唱凯[1] 李发科[1] 施剑锋[2] 陈鸣[1] 

机构地区：[1]第三军医大学大坪医院检验科,重庆400038 [2]中国电子科技集团公司第26研究所,重庆400060

出　　处：《压电与声光》2010年第6期906-908,共3页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：国家"八六三"基金资助项目(2007AA02Z416);重庆市自然科学基金重点资助项目(CSTC;2009BA5007)

摘　　要：介绍了一种新型声表面波氨气传感器的基本工作原理和设计方法,声表面波器件的振动模式为瑞利波模式,工作频率为500 MHz。聚苯胺作为敏感膜材料,电路结构采用参比-差分输出方式。通过优化声表面波器件设计、薄膜制备工艺和气路、电路设计,研制出声表面波氨气传感器,其具有灵敏度高,响应速度快和解吸附快的特点。The fundamental theory and design method of surface acoustic wave（SAW） gas sensor were introduced in this paper.Rayleigh mode was the vibrating mode of this SAW device,with 500 MHz working frequency.The polyaniline was used as sensitive polymer and reference-differential output was used in electro circuit structure.The SAW NH3 gas sensor was fabricated by optimizing SAW chip,coating techniques of sensitive polymer,gas channels and signal processing circuit with high sensitivity,short adsorption and restoration time.

关 键 词：声表面波 氨气 传感器 

分 类 号：TN65[电子电信—电路与系统]