微等离子体三极管及其应用  

Microplasma transistors and their applications

作　　者：韩传余[1] 杨景华[1] 王守国[1] 

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029

出　　处：《物理》2010年第12期844-846,共3页Physics

基　　金：国家科技02重大专项基金(批准号:2009ZX0203008)资助项目

摘　　要：一种新型的微电子器件——微等离子体三极管近期被成功研制出来.它的问世奠定了未来更加节能、更加轻便的,具有更高分辨率和更高对比度的等离子体显示的新技术革命基础.文章介绍了微等离子体三极管的工作原理和基本特性,展望了它在发光显示领域的应用前景.A new type of microelectronic device,the microplasma transistor,has recently been successfully fabricated.Its birth heralds a new technological revolution for more energy-efficient,more portable,higher resolution,and higher contrast plasma displays.This article describes the principle of the microplasma transistor and its basic characteristics.In particular,its prospects in the field of light-emitting display applications are presented.

关 键 词：微等离子体三极管 类MOS结构 综述 等离子体显示平板 

分 类 号：TN136[电子电信—物理电子学]