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作 者:于春杭[1] 邵红红[1] 许晓静[1] 翟瑞[1]
机构地区:[1]江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江212013
出 处:《功能材料》2010年第A03期552-555,共4页Journal of Functional Materials
基 金:国家自然科学基金资助项目(50772044);江苏省自然科学基金重点资助项目(BK2007707)
摘 要:采用直流反应磁控溅射法在超细晶粒钛表面沉积掺钽TiO2薄膜,研究了不同掺Ta量对超细晶粒钛表面TiO2薄膜结构、形貌和血液相容性的影响规律。结果表明,超细晶粒钛具有强烈的诱导金红石相形核效应,室温下可以获得超过90%含量的金红石型TiO2;Ta的掺入具有细化薄膜晶粒并抑制金红石相形成的作用;掺入少量Ta的TiO2薄膜具有较优的血液相容性;掺入过量Ta的TiO2薄膜为无定形结构,因抑制金红石相形成反而恶化TiO2薄膜的血液相容性。The structure, morphology and blood compatibility of TiO2 films with different content Ta-doped that deposited on ultrafine-grained Ti by DC magnetron reactive sputtering technology were researched. The results show that ultrafine-grained Ti has s strong induction of rutile nucleation effect and TiO2 film deposited on ultrafine-grained Ti at room temperature contains above 90%(wt%) rutile phase. Ta-doped can refine the grain size of TiO2 film and inhibit the formation of rutile phase. TiO2 film with a few Ta-doped has optimal blood compatibility among other specimens with different content Ta-doped. And TiO2 film with excess Ta-doped is amorphous and deteriorates the blood compatibility of TiO2 film for inhibiting the formation of rutile phase.
关 键 词:掺钽TiO2薄膜 直流磁控溅射 超细晶粒钛 血液相容性 金红石
分 类 号:TB43[一般工业技术] TG146.2[一般工业技术—材料科学与工程]
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