压电微悬臂梁探针的制作工艺研究  被引量:2

Fabrication of Novel Piezoelectric Micro-Cantilever Probe

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作  者:崔岩[1,2] 张吕权[1] 夏劲松[1] 王立鼎[1] 

机构地区:[1]大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,大连116024 [2]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116024

出  处:《西安交通大学学报》2011年第1期79-82,共4页Journal of Xi'an Jiaotong University

基  金:国家自然科学基金资助项目(90607002);辽宁省自然科学基金资助项目(20082169)

摘  要:为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.To realize the application of piezoelectric probe to characterization and fabrication of nano-samples, a new piezoelectric cantilever was designed and fabricated. Wet anisotropic etching was usect to produce nano-silicon-tip, and local piezoelectric layer was designed for the fabrication compatibilities among the probe, piezoelectric film and cantilever. A 450μm×70μm piezoelectric probe was tested on micro-force sensing platform. The measurement result indicates that the elastic constant of the cantilever gets 21.17 N/m, which matches the theoretic one. Moreover, a feasible process was summarized.

关 键 词:压电探针 局部压电层 纳米硅尖 弹性常数 

分 类 号:TN305[电子电信—物理电子学]

 

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