张吕权

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：压电压电薄膜干法刻蚀纳米压印纳米硅更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《西安交通大学学报》更多>>
所获基金：辽宁省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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压电微悬臂梁探针的制作工艺研究被引量：2
《西安交通大学学报》2011年第1期79-82,共4页崔岩 张吕权 夏劲松 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(90607002);辽宁省自然科学基金资助项目(20082169)
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使...
关键词：压电探针 局部压电层 纳米硅尖 弹性常数 
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