微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路研究  

Study on Closed-loop Driving Circuits of Micromechanical Resonator with Constant Vibrating Amplitude

作　　者：王亚强[1] 王跃林 丁纯[1] 喻浩[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息与电子工程系,杭州310027 [2]上海冶金研究所,传感技术国家重点实验室上海200050

出　　处：《仪器仪表学报》1999年第4期351-355,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：曹光彪基金

摘　　要：本文分析了微机械谐振传感器的闭环工作特性，在此基础上研究了微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路的设计原则，研制出闭环恒幅驱动电路，并在微谐振式真空传感器和双框架微谐振陀螺上得到应用。In this paper, we analyze the characteristics of closed-loop micromechanical resonator. We research the design principles of the closed loop driving circuits of micromechanical resonator with constant vibrating am- plitude on the basis of analysis. Then, we develop the closed-loop driving circuits and apply the circuits to the micromechanical resonators.

关 键 词：微机械 闭环恒幅驱动 传感器 微谐振式 

分 类 号：TH－39[机械工程] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]