四氯化硅的应用现状研究  

Application Research of Silicon Tetrachloride

作　　者：吴明明[1] 谈瑛[2] 侯清麟[2] 王吉清[1] 

机构地区：[1]湖南工业大学绿色包装与生物纳米技术应用省重点实验室,湖南株洲412007 [2]湖南工业大学包装新材料与技术重点实验室,湖南株洲412007

出　　处：《湖南工业大学学报》2010年第6期18-22,共5页Journal of Hunan University of Technology

基　　金：湖南省科技计划重点资助项目(2009GK2012)

摘　　要：综述了四氯化硅的主要处理方法和应用研究进展。详细介绍了四氯化硅在制备二氧化硅、多晶硅、三氯硅烷及其他硅烷产品方面的应用及其制备原理,并对各制备工艺技术进行了分析。Reviews the disposing methods and applications of silicon tetrachloride,introduces its applications in the preparation of silica,polycrystalline silicon,silicon trichloride and other silicanes products,and analyzes principles of the preparation process technologies.

关 键 词：四氯化硅 二氧化硅 氢化 等离子体法 多晶硅 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]