热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量  被引量:3

MEASUREMENT OF Al THIN FOIL PERTURBATION TARGET PREPARED BY EVAPORATION

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作  者:周斌[1] 赖珍荃[1] 徐平[1] 沈军[1] 邓忠生[1] 吴广明[1] 张勤远[1] 王珏[1] 

机构地区:[1]同济大学波耳固体物理研究所,上海200092

出  处:《原子能科学技术》1999年第4期294-296,325,共4页Atomic Energy Science and Technology

基  金:国家"863"计划;中国工程物理研究院院外基金

摘  要:以热蒸发工艺制备微结构可控的自支撑 Al平面薄膜靶。该靶用于惯性约束聚变( I C F)精密化分解实验,研究驱动激光光束不均匀性对瑞利泰勒流体力学不稳定性的影响。以卢瑟福背散射( R B S)、俄歇电子能谱( A E S)、扫描电子显微镜( S E M )和αstep 500 台阶仪测量 Al 薄膜靶的靶参数。 Al膜厚度为微米量级,表面稳定的氧化层厚度约为 7 nm ,膜密度为2312 g·cm - 3,颗粒度01 μm ,表面粗糙度平均值为53 nm 。测试结果表明:热蒸发工艺制备出的自支撑 Al平面薄膜靶的厚度、表面平整度及均匀性基本符合 I C F 分解实验所提出的技术要求。The self supporting Al thin foil perturbation target with controlled microstructure was prepared by evaporation, and it was used to study the spatial non uniformity in the laser drive intensity which caused Rayleigh Taylor instability. RBS, AES, SEM and α step apparatus are adopted to measure the parameters of the target. The measurement results show that the density of Al thin foil, the thickness of aluminium oxide, the cluster size and the surface roughness of Al thin foil are 2.312 g·cm -3 , 7 nm, 0.1 μm and 5.3 nm, respectively. The self supporting thin foil perturbation target prepared by evaporation can meet the requirements of inertial confinement fusion.

关 键 词:平面薄膜靶 自支撑 热蒸发 微结构 铝靶 ICF 

分 类 号:O484[理学—固体物理] TL632[理学—物理]

 

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