^(57)Fe^+、N_2^+注入Cu衬底的穆斯堡尔谱研究  

M■ssbauer Study of ^(57)Fe^+ and N_2^+ coimplantion in Cu

作　　者：李爱国[1] 张桂林[1] 倪新伯[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海原子核研究所,上海201800

出　　处：《核技术》1999年第8期464-468,共5页Nuclear Techniques

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：57Fe＋和N2＋双离子注入Cu衬底中，在室温时形成了NaCl结构的FeNx，x约在0．63-0．65间。退火过程中发现，由于氮的存在，氮原子影响了α－Fe的体扩散温度，分解的α—Fe可重新聚集在含N的原子组团中，形成新的α—Fe颗粒，其分解温度可高于600℃。The thermodynamic process of 57Fe+ and N2+ ions coimplantion in Cu wasstudied by CEMS. The Fe nitride with NaCl structure was found. The bulk diffusiontemperature of a -Fe in Cu was influenced by N, the nitrogen can play a role intrapping and futher stabilizing a new a phase of the dissociated iron.

关 键 词：离子注入 铁氮化合物 铜衬底 穆斯堡尔谱 

分 类 号：O481.4[理学—固体物理]