X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究  

Experimental Investigation of X Ray Bragg Fresnel Optics

作　　者：王占山[1] 马月英[1] 吕俊霞[1] 高宏刚[1] 刘毅楠[1] 裴舒[1] 曹健林[1] 徐向东[2] 洪义麟[2] 付绍军[2] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室 [2]中国科技大学国家同步辐射实验室

出　　处：《光学学报》1999年第7期993-996,共4页Acta Optica Sinica

基　　金：国家自然科学基金;863激光领域青年基金;应用光学国家重点实验室基金

摘　　要：用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成布拉格－菲涅耳元件所需的波带片图形，通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上，完成元件的制作，给出布拉格－菲涅耳光学元件测量结果。测量结果表明上述方法适于制作布拉格－菲涅耳元件。The multilayered X ray Bragg Fresnel optics is fabricated with the zone plate profile formed on the phptoresist on a surface of multilayer mirror by optical holography and followed by ion beam etching into the multilayer mirror. The meansured results of the fabricated Bragg Fresnel optics are presented. The measured results show that the method is suitable for making Bragg Fresnel optics.

关 键 词：X射线 布拉格-菲涅耳 光学元件 多层膜 波带片 

分 类 号：TH740.3[机械工程—光学工程] O436.1[机械工程—仪器科学与技术]