吕俊霞

作品数：18被引量：52H指数：4
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发文主题：软X射线多层膜软X射线多层膜正入射光学元件更多>>
发文领域：理学机械工程一般工业技术轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《功能材料》《光学仪器》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
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复合纳米光学变色薄膜被引量：6
《光学学报》2004年第4期433-436,共4页倪星元 吕俊霞 魏建东 吴广明 周斌 沈军 王珏 
国家自然科学基金 (2 0 1330 4 0 );国家高科技 86 3(2 0 0 2AA84 2 0 5 2;2 0 0 2AA84 4 12 0 )资助课题
用热蒸发和磁控溅射的物理镀膜方法和溶胶凝胶化学涂布的方法相结合制备了有机和无机复合纳米光学变色薄膜。光学变色薄膜为多层薄膜 ,当有自然光进入光学变色薄膜时 ,随着入射光和视角的变化在薄膜上可以看到明显的光变色效果。这种薄...
关键词：薄膜光学 光学变色薄膜 纳米材料 磁控溅射法 折射率 溶胶-凝胶法 
溶胶-凝胶SiO_2在变色薄膜中的应用被引量：3
《功能材料》2002年第4期435-436,439,共3页倪星元 吕俊霞 邓忠生 沈军 王珏 
国家自然科学基金资助项目 (5980 2 0 0 7;699780 1 7) ;863激光技术青年科学基金资助课题 (2 0 0 1 1 2 )
变色薄膜是一种非常有用的光学产品。用溶胶 凝胶SiO2 作为变色薄膜中的介质层 (Cr/SiO2 /Al)能明显提高产品的质量和生产效率。本文介绍了溶胶 凝胶SiO2 薄膜的制作方法 ,提出了用酸性催化控制SiO2 溶胶过程 ;用网线辊涂布的方法形...
关键词：薄膜 溶胶-凝胶 SIO2 变色薄膜 
Mo/B_4C软X射线多层膜结构特性研究被引量：1
《光子学报》2000年第5期459-461,共3页吕俊霞 马月英 裴舒 陈星旦 曹健林 
国家自然科学基金;863资助项目&&
在 6.7<λ<1 0 .0 nm波段选择 Mo/ B4 C作为多层膜材料 ,并采用磁控溅射法制备出多层膜样品 .这些多层膜样品的周期结构为 3 .3 5 nm～ 5 .5 2 nm.采用 X射线衍射仪和透射电镜 (TEM)对样品的微观结构进行研究 .结构表明 ,这些多层膜样...
关键词：Mo/B4C 多层膜 软X射线 
C/Al软X射线多层膜反射镜
《中国激光》1999年第9期808-810,共3页吕俊霞 马月英 裴舒 曹健林 
国家科委863高科技项目
在λ=285nm波长处，选择了一种新的多层膜材料对C／Al。与Mo／Si，C／Si软X射线多层膜相比，正入射C／Al多层膜在150nm附近有很低的二级衍射峰。用磁控溅射法制备了C／Al软X射线多层膜样品，并用X射线小角衍射法对其结构进行了测试。
关键词：软X射线 正入射 多层膜反射镜 
C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量被引量：1
《光学仪器》1999年第4期119-122,共4页吕俊霞 马月英 裴舒 曹健林 
国家科委863 高科技项目
在λ＝ ２８．５ｎｍ 波长处，我们选择了一种新的多层膜材料对Ｃ／Ａｌ。正入射Ｃ／Ａｌ多层膜在１５．０ｎｍ 附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的Ｃ／Ａｌ多层膜样品，用Ｘ射线小角衍射法对其结构进行了测试，并测得Ｃ／Ａｌ...
关键词：软X射线 多层膜 反射镜 制备 测量 
磁控溅射法制备Mo/B_4C软X射线多层膜被引量：1
《真空科学与技术》1999年第2期143-145,共3页吕俊霞 马月英 裴舒 曹健林 陈星旦 
国家自然科学基金重点项目;"86 3"高技术资助课题
用DC和RF磁控溅射法制备出了波长小于 10nm波段的Mo/B4 C软X射线多层膜反射镜。掠入射X射线衍射仪的测量结果表明 ,磁控溅射法有很高的控制精度 ,制备出的Mo/B4 C软X射线多层膜周期结构非常好 ,表 (界 )面粗糙度非常小 ,约为 0 4nm。
关键词：软X射线 多层膜 磁控溅射 Mo/B4C 
X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究被引量：2
《光学学报》1999年第7期993-996,共4页王占山 马月英 吕俊霞 高宏刚 刘毅楠 裴舒 曹健林 徐向东 洪义麟 付绍军 
国家自然科学基金;863激光领域青年基金;应用光学国家重点实验室基金
用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成布拉格－菲涅耳元件所需的波带片图形，通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上，完成元件的制作，给出布拉格－菲涅耳光学元件测量结果。测量结果表明上述方法适于制作布拉格－菲...
关键词：X射线 布拉格-菲涅耳 光学元件 多层膜 波带片 
软X射线多层膜技术被引量：4
《原子能科学技术》1999年第4期337-339,共3页王占山 高宏刚 马月英 吕俊霞 曹健林 
国家自然科学基金;"863"高技术项目资助
软 Ｘ 射线多层膜技术是目前工程光学和应用光学中的一个热点。用多层膜可以组成类似于可见光波段的各种软 Ｘ 射线光学仪器，如望远镜、显微镜、投影光刻系统和光谱仪器等。文章简要介绍长春光学精密机械研究所近年来软 Ｘ 射线多层膜...
关键词：软X射线 多层膜 技术研究 
8.0nm X射线激光反射镜Mo/B-4C多层膜制备及其特性被引量：1
《原子能科学技术》1999年第4期343-345,共3页吕俊霞 马月英 裴舒 沈长斌 曹健林 陈星旦 
国家自然科学基金;国家"863"项目
用磁控溅射法制备工作波长约８０ ｎｍ 的 Ｍｏ／ Ｂ４ Ｃ多层膜作为正入射短波长（λ＜ １０．０ ｎｍ ）软 Ｘ 射线激光反射腔的反射镜。经 Ｘ 射线衍射仪和 Ｔ Ｅ Ｍ 检测，多层膜周期结构准确，热稳定性高。
关键词：软X射线 多层膜 磁控溅射法 激光反射镜 膜系 
用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件
《真空科学与技术》1999年第1期66-69,共4页王占山 马月英 吕俊霞 高宏刚 刘毅楠 裴舒 曹健林 徐向东 洪义麟 付绍军 
国家自然科学基金;"863"激光领域青年基金;应用光学国家重点实验室基金资助课题
介绍了软X射线Bragg Fresnel光学元件的特点 ,并以磁控溅射法制备多层膜 ,再采用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成波带片图形 ,通过显影。
关键词：软X射线 光学元件 多层膜 光学全息法 B-F元件 
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