C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量  

C/Al Soft X-ray Multilayer Mirrors

作　　者：吕俊霞[1] 马月英[1] 裴舒[1] 曹健林[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春130022

出　　处：《光学仪器》1999年第4期119-122,共4页Optical Instruments

基　　金：国家科委863 高科技项目

摘　　要：在λ＝ ２８．５ｎｍ 波长处，我们选择了一种新的多层膜材料对Ｃ／Ａｌ。正入射Ｃ／Ａｌ多层膜在１５．０ｎｍ 附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的Ｃ／Ａｌ多层膜样品，用Ｘ射线小角衍射法对其结构进行了测试，并测得Ｃ／Ａｌ软Ｘ射线多层膜的正入射反射率２２％ ±４％ 。We report a new material combination,C/Al for normal incidence multilayer mirrors at the wavelength λ =28 5nm.Compared with Mo/Si,C/Si multilayer,C/Al have the lower second order peak at the 15.0nm.The C/Al soft X ray multilayer,fabricated by magnetron sputtering,was characterized by grazing incidence X ray diffraction.And the reflectance of C/Al soft x ray multilayer is 22%±4% at normal incidence.

关 键 词：软X射线 多层膜 反射镜 制备 测量 

分 类 号：O484[理学—固体物理]