磁控溅射法

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射频磁控溅射制备SnS薄膜及其特性研究
《延边大学学报(自然科学版)》2024年第4期20-25,共6页杨壮 戚庆碧 顾广瑞 
国家自然科学基金(51272224);吉林省自然科学基金(20210101163JC)。
以玻璃和硅(Si)为衬底,采用射频磁控溅射法在不同溅射压强下制备了SnS薄膜.利用X射线衍射仪对SnS薄膜进行表征分析显示,所有样品均沿(111)面择优生长,溅射压强为0.8 Pa时薄膜结晶性最好;使用场发射扫描电子显微镜对SnS薄膜进行测试,结...
关键词：射频磁控溅射法 溅射压强 SnS薄膜 薄膜结构 光学性能 
双膜层ITO/SiO_(2)薄膜制备及其膜电阻均匀性研究
《表面技术》2024年第24期188-196,共9页朱治坤 陈婉婷 陈静 朱常青 刘荣梅 
国家自然科学基金青年基金项目(52201099);安徽省教育厅项目(2024AH050121)。
目的通过双膜层结构设计制备ITO/SiO_(2)薄膜,研究了靶面磁场强度、镀膜工件移动速度、镀膜功率对ITO/SiO_(2)薄膜膜电阻均匀性的影响,并研究了优化条件制备的ITO/SiO_(2)薄膜物相、形貌和结构,并通过元素分布分析探讨了SiO_(2)薄膜的...
关键词：磁控溅射法 ITO/SiO_(2)双膜层 微观结构 膜电阻均匀性 
基于磁控溅射法生长hBN薄膜的MSM型真空紫外探测器(特邀)被引量：1
《光子学报》2024年第7期21-30,共10页房万年 李强 张启凡 陈冉升 李家兴 刘康康 云峰 
国家重点研究发展计划(No.2021YFB3602000),中央高校基本科研业务费(Nos.xpt012022019,xyz012022088,xzd012022065)。
针对目前大面积高质量六方氮化硼(hBN)薄膜的制备与转移存在均匀性、晶粒控制、无损转移等问题,采用射频磁控溅射技术成功在2英寸硅和蓝宝石介电衬底上沉积了hBN薄膜,拉曼光谱、X射线光电子能谱表征证实了薄膜具有明显的hBN特征。制备了...
关键词：真空紫外探测 六方氮化硼 磁控溅射技术 金属-半导体-金属型光电探测器 
高熵合金的制备方法及研究现状被引量：1
《热加工工艺》2024年第14期6-10,15,共6页秦琴 郑晶睿 刘晋江 费培恩 郭灏洁 王志杰 张思晋 王沛深 
四川省科技创新苗子工程项目(2017122);四川省粉末冶金工程技术研究中心开放基金项目(SC-FMYJ2018-07,SC-FMYJ2018-01)。
针对高熵合金的化学成分、力学性能和近年来的研究进展进行了综述,对比了真空熔炼法、机械合金化、磁控溅射法、电化学法及激光增材制造等高熵合金的制备方法,并总结和展望了这些制备方法的研究现状和方向。
关键词：高熵合金 磁控溅射法 激光增材制造 机械合金化 
碳化硅基器件碳膜保护层的制备与研究
《电子工业专用设备》2024年第2期27-32,67,共7页孔令通 肖晓雨 佘鹏程 黄也 龚俊 王建青 
碳膜沉积工艺是集成电路碳化硅器件制造过程中一道关键工艺,通过在碳化硅表面沉积碳膜,有效防止碳化硅器件在高温退火后的表面荒化,避免器件失效。通过磁控溅射法在碳化硅基底上制备碳膜,探索不同的参数对碳膜的影响,得到了表面光滑、...
关键词：碳化硅 集成电路 碳膜沉积工艺 磁控溅射法 物理气相沉积 
磁控溅射法制备的硫化镉缓冲层的铜锌锡硫薄膜太阳电池性能
《云南师范大学学报（自然科学版）》2024年第2期18-21,共4页陈玉飞 廖华 周志能 赵永刚 王书荣 
国家自然科学基金资助项目(62264016)。
利用磁控溅射法制备硫化镉薄膜,研究硫化镉薄膜作为缓冲层的铜锌锡硫薄膜太阳电池性能.进一步地,采用双功率溅射的方法,减轻溅射过程对吸收层的损伤,增加了铜锌锡硫薄膜太阳电池的开路电压和填充因子,提高了光电转换效率,最终获得了光...
关键词：铜锌锡硫薄膜太阳电池 硫化镉缓冲层 磁控溅射法 双功率溅射 
TiW/Ni/Au爆炸箔制备及性能研究被引量：2
《兵工学报》2023年第12期3826-3835,共10页李思宇 董晓芬 王云鹏 李帅 王端 王庆华 
爆炸箔起爆器因其高可靠性、高安全性而在各类战术武器中备受青睐,但其起爆需要较高的输入能量和电压,需配备专门的起爆线路,导致成本高、体积大,在常规武器中应用受限。为顺应爆炸箔起爆器低能化、小型化的发展趋势,获得充电电压在1.5...
关键词：爆炸箔 磁控溅射法 电爆特性测试 光子多普勒飞片测速 
感应耦合等离子体增强磁控溅射法制备MoO_(3)高透亲水光学薄膜
《功能材料》2023年第11期11118-11125,共8页彭井泉 郑学军 冯春阳 李方 黄乐 陈立 左滨槐 陈丽娟 贺楚才 
国家自然科学基金(11832016);国家重点研发计划(2021YFB4000802);湖南创新型省份建设专项(2020GK2014);合肥通用机械研究院有限公司项目(2021ZKKF 043);湖南省研究生科研创新项目(CX20210644)。
将磁控溅射和感应耦合相结合形成感应耦合等离子体增强磁控溅射技术(ICPMS),制备了MoO_(3)高透亲水光学薄膜。使用分光光度计、水接触角测试仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和X射线能谱仪,分别表征薄膜的光学性能、润湿性能、显微形貌...
关键词：正交实验 感应耦合等离子体增强磁控溅射法 MoO_(3)薄膜 透过率 接触角 
偏压对高功率脉冲磁控溅射法沉积MoN涂层结构及性能的影响
《摩擦学学报》2023年第10期1118-1127,共10页康建 隋旭东 杨淑燕 周海斌 郝俊英 万勇 刘维民 
国家自然科学基金(51835012,51975554);甘肃省科技计划(21JR7RA081);基础研究计划(2020-JCJQ-ZD-155-12);西部之光项目资助。
采用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)方法在9Cr18钢基材上制备了MoN涂层.系统研究了不同偏压对其结构、力学性能以及摩擦学性能的影响,并优化出耐磨性优异的MoN涂层.采用场发射扫描电镜分析涂层的表面和截面形貌,采用X-射线衍射仪分析涂层...
关键词：HIPIMS MoN涂层 偏压 摩擦磨损 耐磨性 
Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜性能影响的研究
《中国设备工程》2023年第17期132-134,共3页张健峰 
透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、触控面板、液晶显示等领域。本文采用磁控溅射法制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜光电性能的影响。结果表明,AZO薄膜是具有六方晶系ZnO纤锌矿结构的多晶相。当Ag层...
关键词：透明导电薄膜 AZO/Ag/AZO 磁控溅射法 Ag层厚度 
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