C/Al软X射线多层膜反射镜  

C/Al Soft X-ray Multilayer Mirrors

作　　者：吕俊霞[1] 马月英[1] 裴舒[1] 曹健林[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室,长春130022

出　　处：《中国激光》1999年第9期808-810,共3页Chinese Journal of Lasers

基　　金：国家科委863高科技项目

摘　　要：在λ=285nm波长处，选择了一种新的多层膜材料对C／Al。与Mo／Si，C／Si软X射线多层膜相比，正入射C／Al多层膜在150nm附近有很低的二级衍射峰。用磁控溅射法制备了C／Al软X射线多层膜样品，并用X射线小角衍射法对其结构进行了测试。A new material combination, C/Al, for normal-incidence multilayer mirrors atthe wavelength λ = 28. 5 nm is reported. Compared with Mo/Si, and C/Si multilayers, theC/Al mirrors have the lower second-order peak at the 15. 0 nm. The C/Al soft X-raymultilayer, fabricated by magnetron sputtering, was characterized by grazing-incidence X-ray diffraction.

关 键 词：软X射线 正入射 多层膜反射镜 

分 类 号：O434.1[机械工程—光学工程]