Mo/B_4C软X射线多层膜结构特性研究  

STRUCTURAL CHARACTERISTIC OF Mo/B_4C SOFT X-RAY MULTILAYER MIRRORS

作　　者：吕俊霞[1] 马月英[2] 裴舒[2] 陈星旦[2] 曹健林[2] 

机构地区：[1]同济大学物理系玻耳固体物理研究所,上海200092 [2]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春130022

出　　处：《光子学报》2000年第5期459-461,共3页Acta Photonica Sinica

基　　金：国家自然科学基金;863资助项目&&

摘　　要：在 6.7<λ<1 0 .0 nm波段选择 Mo/ B4 C作为多层膜材料 ,并采用磁控溅射法制备出多层膜样品 .这些多层膜样品的周期结构为 3 .3 5 nm～ 5 .5 2 nm.采用 X射线衍射仪和透射电镜 (TEM)对样品的微观结构进行研究 .结构表明 ,这些多层膜样品的结构质量很高 ,并有很好的热稳定性 .The Mo/B 4C multilayer system is selected for 6.7<λ<10.0nm X rays.Mo/B 4C multilayers are deposited by magnetron sputtering.The period thicknesses of these samples are from 3.35nm～ 5.52nm.Details in the microstructure of Mo/B 4C multilayer samples are revealed using X ray diffraction and TEM.The results show that these multilayer mirrors have high structural quality and thermal stability.

关 键 词：Mo/B4C 多层膜 软X射线 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]