双稳态MEMS电磁微继电器响应速度的分析  

Analysis of the response of MEMS bi-stable electromagnetic microrelay

作　　者：汤学华[1] 吉特[2] 

机构地区：[1]上海电机学院图书馆 [2]中国科学院上海应用物理研究所同步辐射实验部

出　　处：《功能材料与器件学报》2011年第1期87-92,共6页Journal of Functional Materials and Devices

基　　金：江苏省工业装备数字制造与控制技术重点实验室开放研究基金资助项目(编号:08B61);中科院前沿项目

摘　　要：本文设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器,并对影响其响应速度的因素进行了分析。测试后,结果表明,器件在运行过程中的脉冲间歇期间能够保持稳定状态而无需额外功耗;并且能够实现通过调节运行幅度,来提高器件的响应速度,最短的响应时间可以达到0.3ms。The design of a novel bi-stable micro electro mechanical system（MEMS） electromagnetic microrelay is presented and the factors impacting the response of the miniaturized device are analyzed.The test results show that the microrelay can keep stable states without other power consumption and the response can be increased by tuning the operation distance of the rotor.The minimum response is up to 0.3ms.

关 键 词：微机电系统 电磁微继电器 双稳态 响应速度 

分 类 号：TB[一般工业技术]