基于视觉的单晶生长直径检测与监控  

Vision-based crystal diameter detection and surveillance for crystal growing

作　　者：赵其杰[1] 程德富[1] 卢建霞[1] 张国栋[1] 

机构地区：[1]上海大学机电工程与自动化学院,上海200072

出　　处：《制造业自动化》2011年第7期22-25,共4页Manufacturing Automation

基　　金：上海市教委培养选拔优秀青年教师基金资助(37010907709);上海大学211重点学科建设项目资助

摘　　要：将直拉法单晶硅生长过程分解为引晶阶段、引晶过渡阶段及等径生长等三个阶段,提出了基于视觉检测和通信控制相结合的单晶直径检测与监控方法,针对晶体生长不同阶段的特点设计了图像边缘特征信息检测及依据特征信息进行拟合的图像处理算法。根据提出的直径检测与监控方法,开发了单晶直径检测与监控的应用软件,在建立的系统中进行了初步试验研究,试验数据表明在一定精度条件下提出的方法是可行的。

关 键 词：单晶硅 直拉法 直径检测 图像处理 

分 类 号：TP391[自动化与计算机技术—计算机应用技术]