超声处理减小SU-8胶层内应力的研究  

作　　者：杜立群[1,2] 王启佳[2] 张晓蕾[2] 

机构地区：[1]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116024 [2]大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室,大连116024

出　　处：《中国科学：技术科学》2011年第4期474-481,共8页Scientia Sinica(Technologica)

基　　金：国家自然科学基金(批准号:50675025)资助项目

摘　　要：目前,SU-8胶层中过大的内应力,已经成为制约SU-8胶结构稳定性和实现更高深宽比的瓶颈问题之一.然而,已有的研究工作都集中在工艺参数的优化和掩模板的设计上,而且无法推广使用.本文旨在利用超声时效技术减小SU-8胶层中的内应力.讨论了利用超声时效技术减小SU-8胶层中内应力的机理.以改进的Stoney公式为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小SU-8胶层中内应力方面的作用.讨论了工作台振幅、输入功率和时效时间等重要参数对超声时效效果的影响,并且对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层中的内应力值.研究结果表明,选择合适的实验参数,超声时效技术可以有效地减小SU-8胶层中的内应力,该技术在非金属应力去除方面具有一定的实用价值.

关 键 词：超声时效 SU-8光刻胶 内应力 轮廓法 

分 类 号：TQ430.1[化学工程] TB559[理学—物理]