三氯氢硅生产过程的优化  

Optimization of trichlorosilane production process

作　　者：宋宝东[1] 刘本旭[1] 

机构地区：[1]天津大学化工学院化学工程研究所,天津300072

出　　处：《中国氯碱》2011年第3期32-34,共3页China Chlor-Alkali

摘　　要：阐述了三氯氢硅主要工艺过程。The production technologies of trichlorosilane were briefly reviewed, the existing problems and olutions were pointed out.

关 键 词：三氯氢硅 四氯化硅 多晶硅 尾气 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]