磁控溅射电极  

作　　者：松一 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1999年第6期10-11,共2页

关 键 词：磁控溅射 电极 靶材 薄膜技术 

分 类 号：TB43[一般工业技术] O484.1[理学—固体物理]