Ar压力和基体温度对RF溅射制备的ZnO透明导电薄膜性能的影响  

作　　者：晓青 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1999年第6期17-18,共2页

关 键 词：射频溅射 氩压力 基体温度 氧化锌 薄膜 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学]