EVG620HBL：自动光刻系统  

出　　处：《世界电子元器件》2011年第4期37-37,共1页Global Electronics China

摘　　要：EVG推出EVG620HBL全自动光刻系统，以EVG光刻机平台为基础，旨在优化高亮度发光二极管（HB—LED）、复合半导体和动力电子设备的生产制造。EVG620HBL增加了—个高强度紫外线光源和五个向盒装卸台，可以不间断地制造设备。因此，EVG620HBL全自动光刻系统的产量增加，

关 键 词：光刻系统 高亮度发光二极管 复合半导体 紫外线光源 生产制造 电子设备 制造设备 全自动 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]