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出　　处：《微纳电子技术》2011年第4期275-275,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：松下与IMEC联合开发工作电压1．8v的MEMS谐振器 松下与比利时的IMEC宣布，共同开发了Q值为业界最高水平的低电压驱动MEMS谐振器。部分开发技术已在“IEDM 2010（2010 IEEE International Electron Devices Meeting）”（2010年12月6—8日，美国旧金山）上公开。

关 键 词：MEMS谐振器 DEVICES 产品 低电压驱动 工作电压 IEDM IEEE 开发 

分 类 号：TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]