扩展电阻探针在材料测试和器件工艺中的应用  

作　　者：吴晓虹[1] 闵靖[1] 

机构地区：[1]上海市计量测试技术研究院

出　　处：《上海计量测试》1999年第5期37-38,共2页Shanghai Measurement and Testing

摘　　要：本文介绍了使用扩展电阻探针，通过测试材料的电阻率分布和工艺芯片的杂质浓度分布，从而用以材料和器件工艺参数的测试分析。

关 键 词：电阻探针 材料测试 工艺 电阻率 半导体器件 

分 类 号：TN307[电子电信—物理电子学]