硅微型加速度计有限元模型与动态分析研究  

Finite_Element Models and Dynamic Analysis of Micro Silicon Accelerometer

作　　者：李明[1] 周百令[1] 

机构地区：[1]东南大学仪器科学与工程系,南京210096

出　　处：《东南大学学报（自然科学版）》1999年第5期81-85,共5页Journal of Southeast University：Natural Science Edition

基　　金：国防科技预研基金

摘　　要：由于硅微型加速度计高动态性能和特殊的制造工艺，在设计阶段必须对其进行详细的结构动态分析．本文建立了微加速度计三维有限元模型，分析计算了其基本模态，研究了其瞬态响应和响应谱等动态特性．Micro silicon accelerometer should be dynamically analyzed and simulated early in the design phase due to the high requirement of dynamic performance and special micro fabrication techniques. A 3D finite_element model of micro silicon accelerometer is built and mode_frequency is computed. Further more, dynamic character such as transient response and spectrum is researched.

关 键 词：硅 微型 加速度计 有限元 模态分析 动态分析 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术] V241.45[机械工程—精密仪器及机械]