常用间隔层材料软X射线多层膜的设计  

Design of soft X-ray multilayer for familiar spacing layer material

作　　者：雷洁红[1,2] 段浩[3] 邢丕峰[2] 唐永建[2] 

机构地区：[1]西华师范大学 物理与电子信息学院,南充637002 [2]中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,绵阳621900 [3]绵阳师范学院 化学与化学工程学院,绵阳621000

出　　处：《激光技术》2011年第3期415-417,共3页Laser Technology

基　　金：国家八六三高技术研究发展计划资助项目;西华师范大学博士科研启动基金资助项目(10B014)

摘　　要：为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系。结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在12.44nm是首选膜系外(除4.36nm外),其它波长都有较高的反射率;U作为吸收层材料,在相当大的波段范围内,与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率。这对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义。To study the material commonly used in the interval of soft X-ray multilayer, soft X-ray muhilayer with high reflectivity were designed with the special design program prepared by the Lawrenee-Livermore National Laboratory. The results show that Molybdenum has good optical property in a wide waveband. Besides at optimum wavelength of 12.44nm, molybdenum has high reflectivity at other wavelengths except 4.36nm. Multilayer consisting of uranium and other spacing layer material, with uranium as an absorption layer, also has higher reflectivity in a large wavelength range. The results are helpful for selection of multilayer material.

关 键 词：薄膜 软X射线多层膜 多层膜设计 间隔层材料 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]