软X射线多层膜

作品数：49被引量：101H指数：6
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相关作者：邵建达范正修马月英易葵白海力更多>>
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LiH(LiD,LiT)基软x射线多层膜的设计
《西华师范大学学报（自然科学版）》2018年第2期185-187,共3页刘芸 林光会 赵倩 雷洁红 
四川省科技厅应用基础研究面上项目(2017JY0145)
利用Livermore实验室提供的软x射线多层膜设计程序,首次计算了含有U和Li H(Li D、Li T)核材料的软x射线多层膜在不同中心波长处的反射率。设计结果显示,在22.7nm波长处,Li H(Li D、Li T)基多层膜给出了特征反射峰值,说明在大于20nm波段,...
关键词：软x射线长波段 间隔层材料 多层膜设计 反射率峰值 氢化锂 
光学薄膜的发展及应用前景被引量：3
《黑龙江科技信息》2017年第2期14-15,共2页李玉春 
光学薄膜作为一类重要的光学器件,在现代光学、光电子学、光学工程和其他一些重要的技术领域中应用越来越广泛。伴随着科学技术的不断发展,光学薄膜及光学薄膜技术也正在迅猛的发展,并在其他科学技术领域中应用广泛,取得了相当大的成就...
关键词：光学薄膜 金刚石膜 新型光学薄膜 软X射线多层膜 
常用间隔层材料软X射线多层膜的设计被引量：3
《激光技术》2011年第3期415-417,共3页雷洁红 段浩 邢丕峰 唐永建 
国家八六三高技术研究发展计划资助项目;西华师范大学博士科研启动基金资助项目(10B014)
为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系。结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在...
关键词：薄膜 软X射线多层膜 多层膜设计 间隔层材料 
Mo/Si软X射线多层膜中厚度均匀性的精细控制被引量：2
《光学学报》2011年第11期297-301,共5页朱亚丹 方明 易葵 
为了获得光学性质均匀的大面积软X射线多层膜,必须控制好周期结构中单层膜的厚度均匀性。为此建立了磁控溅射薄膜沉积技术中单层膜厚度均匀性的分析和控制模型,解释了基底变速转动法可用来获得膜厚均匀的多层膜,并根据理论分析获得了基...
关键词：薄膜 软X射线膜 厚度均匀性 变速转动法 磁控溅射 光学均匀性 
钼薄膜制备技术研究被引量：2
《云南大学学报（自然科学版）》2009年第S1期282-284,共3页雷洁红 邢丕峰 唐永建 吴卫东 
国家高技术研究发展计划(863)资助的课题
钼薄膜作为散射层材料常运用在软X射线多层膜中.制备表面超光洁、厚度为几个纳米的钼薄膜对软X射线短波区多层膜的制备具有重要意义.文章介绍了制备钼薄膜的几种方法,包括化学气相沉积、机械研磨、电解抛光、磁控溅射和脉冲激光沉积.比...
关键词：钼薄膜 表面粗糙度 脉冲激光沉积 软X射线多层膜 
波长小于10nm的软X射线多层膜制备技术被引量：2
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2009年第1期245-246,250,共3页雷洁红 邢丕峰 唐永建 吴卫东 
国家高技术研究发展计划（863）
软X射线短波段区域（1～10nm）高反射率多层膜的制备对软X射线光学的研究具有十分重要的意义。该波段要求镀膜过程中能减小界面扩散，实现膜厚控制，从而严格限制了制备技术的应用。介绍了软X射线短波段多层膜的发展现状和制备技术，主...
关键词：软X射线多层膜 表面粗糙度 制备技术 
极紫外/软X射线多层膜衍射光栅被引量：2
《光电工程》2007年第5期27-32,102,共7页金春水 张立超 
中国科学院长春光机所青年创新基金资助项目(60678034);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目
多层膜光栅是集多层膜的高反射率与光栅的高光谱分辨于一身的新型光学元件,它的出现使得在极紫外/软X射线(EUV/SXR)波段采用非掠入射、高光谱分辨率的分光元件成为可能。对多层膜光栅的衍射特性进行了分析,这些衍射特性使多层膜光栅能...
关键词：极紫外 多层膜 衍射光栅 
Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究被引量：6
《强激光与粒子束》2007年第5期763-766,共4页秦俊岭 邵建达 易葵 周洪军 霍同林 范正修 
国家863计划项目资助课题;教育部"同步辐射博士生创新中心"研究生创新基金资助课题
用磁控溅射法分别制备了以Mo膜层和Si膜层为顶层的Mo/Si多层膜系列,利用小角X射线衍射确定了各多层膜的周期厚度。以不同周期数的Mo/Si多层膜的新鲜表面近似等同于同一多层膜的内界面,通过原子力显微镜研究了多层膜界面粗糙度随膜层数...
关键词：MO/SI多层膜 软X射线 界面粗糙度 反射率 
软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器设计被引量：1
《同济大学学报（自然科学版）》2005年第7期859-863,共5页王占山 顾中祥 王洪昌 陈玲燕 
国家自然科学基金资助项目(10435050;60378021);上海市科委纳米专项基金资助项目(0352nm090)
叙述了软X射线波段多层膜透射式起偏器和检偏器的设计原理,提出了设计准则,通过该准则设计的多层膜偏振元件能够同时满足具有较大的光通量和偏振度要求.同时还优化了不同膜厚比情况下软X射线多层膜偏振元件的性能,讨论了在多层膜制作过...
关键词：软X射线 多层膜 透射式起偏器和检偏器 评价函数 偏振率 
基于模拟退火的软X射线多层膜反射镜设计
《光电子．激光》2004年第1期37-40,共4页胡家升 宋利民 
基于模拟退火(SA)算法,对软x射线短波段中的几个波长的多层膜反射镜进行了优化设计,获得了它们的光学参数,包括多层膜反射镜的最佳周期厚度、最佳厚度比和峰值反射率,进而制作多层膜反射镜并在北京同步辐射装置上进行了反射率的实际测...
关键词：模拟退火 SA 反射率 多层膜反射镜 软X射线 优化设计 
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