一种非接触测微新技术初探  

A Study on A Non Contact Displacement Measuring Instrument

作　　者：孔健[1] 万德安[1] 

机构地区：[1]同济大学机械工程系,上海市200092

出　　处：《仪表技术与传感器》1999年第11期11-12,15,共3页Instrument Technique and Sensor

基　　金：上海市自然科学基金

摘　　要：以像散法的测微原理为依据，对ＣＤ光学头的检测系统进行研究改造，构建了一维测微系统。获得０－０７μｍ 的测量分辨率，１００ｋＨｚ 的频率响应。同时具有体积小，成本低等优点。具有广阔的应用前景。This paper presents a new non contact displacement measuring instrument based on astigmatic focus error detection measuring princile.Resolution and frequency of the instrument is obtained by the results of experiment.The measurment system is also characterized by simple structure,low cost and wide application fields.

关 键 词：非接触测量 位移测量 像散法 CD光学头 

分 类 号：TH822[机械工程—仪器科学与技术]