微波等离子体CVD法合成金刚石  

作　　者：胜又聪 风早富雄 坪川雅也 吴明华 

机构地区：[1]日

出　　处：《微细加工技术》1990年第2期80-86,90,共8页Microfabrication Technology

摘　　要：金刚石作为最昂贵的宝石,在女性中特别受到青睐。可是,把金刚石作为工业材料来看时,它就具有种种很高的利用价值和最佳的特性。比如,由于它是地球上最硬的物质的缘故,它作为切削加工的切削刃,被应用到各个方面。牙科医生使用的牙用钻头以及唱片针。

关 键 词：微波 等离子体 CVD法 合成 金刚石 

分 类 号：TN304.18[电子电信—物理电子学]