CVD法

作品数：414被引量：1000H指数：13
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基于低气压CVD法的大面积真空镀膜均匀性控制机理研究
《真空科学与技术学报》2025年第3期205-214,共10页黄宇鹏 袁吉仁 黄海宾 
国家自然科学基金项目(No.11964018);江西省自然科学基金项目(20224BAB202032);赣鄱俊才支持计划项目(20232BCJ22026);中央引导地方科技发展资金项目(20231ZDE04023);江西省重点研发计划项目(20243BBG71022);山西省科技厅项目(202101060301016);吕梁市科技局项目(2022JBGS01)。
在热丝化学气相沉积法大面积均匀沉积非晶硅薄膜时,利用CFD流体仿真软件,对反应室腔体建立了精确的连续流体和传热模型。以常规工艺参数为基准,遵循单一控制变量原则,设计系列试验分析了不同热丝工艺参数对基底表面温度和气体流速的具...
关键词：热丝化学气相沉积 热流场 工艺参数 镀膜均匀性 
CVD法制备无硫膨胀石墨/碳纳米管复合材料及其导热性能研究
《山东化工》2025年第3期8-11,共4页王振廷 王传波 尹吉勇 刘昊洋 
石墨烯节能电暖器(项目编号:LJGXCG2022-114)。
通过电化学法制备膨胀石墨,采用CVD法以硝酸铁为催化剂,乙炔为碳源在膨胀石墨层间原位生长碳纳米管,经过碳化石墨化提纯,二辊压延机辊压增密处理后制备出一种复合导热膜。并通过XRD、SEM、EDS对复合材料的组织结构进行表征分析,使用激...
关键词：CVD法 膨胀石墨 碳纳米管 制备工艺 
新型CVD法合成Fe_(3)C-CNT用于高性能锂硫电池正极研究
《化工新型材料》2025年第2期128-130,共3页徐开兵 陈晓 
国家自然科学基金资助项目(51602049);高等教育规划专项课题(GJGH2023014)。
采用三聚腈胺作为固相碳源、氯化铁粉末作为原料,设计了一种新型的化学气相沉积方法,一步法合成了超长碳纳米管包裹的Fe_(3)C纳米晶(Fe_(3)C-CNT);随后用熔融法与硫粉混合,得到Fe_(3)C-CNT/S复合材料。得益于Fe_(3)C-CNT优异的导电性和...
关键词：化学气相沉积 Fe_(3)C纳米晶 锂硫电池 高性能 
CVD法制备SiC涂层的工艺影响分析被引量：1
《材料保护》2024年第11期110-117,共8页陈良财 尹翔 王青春 龙连春 
化学气相沉积(CVD)法制备的碳化硅(SiC)涂层是碳基材料表面防氧化涂层的理想选择,各项工艺直接影响涂层的沉积结果。为指导碳/碳(C/C)复合材料高温抗氧化SiC涂层的工艺调控,建立了CVD法制备SiC涂层的沉积炉仿真模型,采用计算流体力学软...
关键词：化学气相沉积 SIC 抗氧化 数值模拟 工艺调控 
氮化硼包覆碳化硅纤维表面CVD法生长碳纳米管研究
《表面技术》2024年第12期218-229,239,共13页闫兵 岳建岭 邹杨君 楼嘉伟 杜作娟 刘愚 黄小忠 
国家自然科学基金青年基金(52002403)。
目的通过调节化学气相沉积(CVD)的工艺参数,实现碳纳米管(CNTs)在氮化硼(BN)包覆的碳化硅纤维(SiCf)表面的可控生长。方法通过控制单一变量,采用扫描电子显微镜、热重分析、X射线光电子能谱等表征手段,系统地研究了CVD工艺参数和BN表面...
关键词：六方氮化硼 碳纳米管 化学气相沉积 工艺参数 氮化硼羟基化 
CVD法制备Inconel 718高温合金表面铝化物涂层高温氧化行为研究被引量：2
《材料研究与应用》2024年第2期187-194,共8页孟国辉 齐浩雄 杜撰 刘梅军 杨冠军 吴勇 孙清云 夏思瑶 董雪 
国家重点研发计划课题项目(2020YFB2010403);湖北省重点研发计划项目(2021BAA210)。
Inconel 718高温合金是燃气轮机和航空发动机热端部件的关键核心材料,其表面通常制备有铝化物涂层,起到提高抗氧化和热腐蚀性能的作用。理解铝化物涂层的高温氧化行为,是提高部件抗高温氧化能力的关键。采用化学气相沉积(CVD)技术,在Inc...
关键词：Inconel 718高温合金 燃气轮机 航空发动机 化学气相沉积 铝化物涂层 高温氧化行为 α-Al_(2)O_(3) Β-NIAL 
CVD法制备铝化物涂层组织结构的温度依赖效应
《表面工程与再制造》2023年第6期52-55,共4页齐浩雄 吴勇 刘梅军 孟国辉 孙清云 陈同舟 段海涛 杨冠军 
铝化物涂层制备技术由于非视线性沉积优势广泛应用于燃气轮机关键热端部件上,可在部件外表面以及内腔表面制备抗氧化耐腐蚀铝化物涂层。涂层的组织结构是影响其服役性能的关键,然而如何调控铝化物涂层的组织结构从而获得理想性能的涂层...
关键词：铝化物涂层 涂层厚度 CVD 沉积温度 
CVD法制备多壁碳纳米管的研究进展被引量：1
《信息记录材料》2023年第10期25-27,共3页葛菊芳 黄海军 黄先锋 张玮煜 张晗 刘凯璐 
碳纳米管在力、热、光、电等方面均表现出独特的性质,因此受到众多领域专家的广泛关注。但碳纳米管价格较高,制作过程复杂,严重限制了大规模推广。因而探索高产量、低成本的碳纳米管制作方法备受关注。碳纳米管采用化学气相沉积(chemica...
关键词：碳纳米管 CVD法 生长机理 工艺参数 
铜基CVD法制备石墨烯专利技术分析
《中国科技信息》2023年第18期59-61,共3页程维高 张爽 
石墨烯是由碳原子sp^(2)杂化,以正六边形为元胞的蜂窝状二维晶格,石墨烯的厚度只有0.335nm,C-C键长约为0.142nm,是目前已知最薄的二维材料。石墨烯具有非常高的比表面积、电子迁移率、杨氏模量和热导性,在锂离子电池、透明导电薄膜、超...
关键词：锂离子电池 超级电容器 太阳能电池 燃料电池 石墨烯 电子迁移率 正六边形 二维材料 
CVD法制备铝化物涂层组织结构的温度依赖效应
《材料保护》2023年第9期30-38,共9页齐浩雄 吴勇 刘梅军 孟国辉 孙清云 陈同舟 段海涛 杨冠军 
国家重点研发计划(2020YFB2010403)资助。
铝化物涂层制备技术由于非视线性沉积优势广泛应用于燃气轮机关键热端部件上,可在部件外表面以及内腔表面制备抗氧化耐腐蚀铝化物涂层。涂层的组织结构是影响其服役性能的关键,然而如何调控铝化物涂层的组织结构从而获得理想性能的涂层...
关键词：铝化物涂层 涂层厚度 CVD 沉积温度 
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