用等离子体CVD法高速合成金刚石  

作　　者：尾花 博 吴明华 

机构地区：[1]日本

出　　处：《微细加工技术》1990年第2期76-80,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：关于金刚石气相合成法,已经发表了热灯丝方法以及其他许多的研究报告,不过,笔者认为这些方法跟现在已应用很广的高压法比较,其合成速度慢,在实际应用中还留有研究的余地。 在这种情况下。

关 键 词：等离子体 CVD法 合成 金刚石 

分 类 号：TN304.18[电子电信—物理电子学]