基于Y型多针孔干涉仪的三维绝对坐标测量  

作　　者：于亚楠[1] 张新廷[1] 国承山[1] 

机构地区：[1]山东师范大学物理与电子科学学院,济南250014

出　　处：《山东师范大学学报（自然科学版）》2011年第2期43-45,53,共4页Journal of Shandong Normal University(Natural Science)

基　　金：国家自然科学基金资助项目（11074152）

摘　　要：提出一种利刚Y型多针孔干涉仪测量三维绝对位置坐标的新方法．这种方法是通过提取多针孔板上各测量孔的相位信息进而计算出待测点绝对位置坐标的．文章详细介绍了该方法的测量原理，并通过理论分析给出了测量公式．通过计算机模拟实验的方法验证了该方法的可行性．与现有的点衍射干涉测量法相比，该方法不需要任何相移装置，对测量环境的要求低，并且不需要迭代算法便可较为准确的求解出被测点的绝对位置坐标，有利于绝对位置坐标的实时测量．We report a new absolute coordinate measurement based on a tri - arm multipinhole interferometer. In this method, the XYZ - coordinates of the target can be computed by extracting the phase information of measuring points on the multi - pinhole plate. This paper introduces the measuring principle of the new method in detail, and derives an analytical equation for extracting the XYZ - coordinates. Experimental results show that the proposed method is capable of measuring the XYZ - coordinates of the target. The advantage of the method is that the phase information of a point source can be acquired without any phase - shift algorithms, and the absolute coordinate can be calulated in real- time.

关 键 词：坐标测量 干涉仪 多针孔板 Fraunhofer衍射 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]