热壁外延  

作　　者：杨玉琨[1] 孟庆巨[1] 吴连民[1] 

机构地区：[1]吉林大学分析测试实验中心

出　　处：《物理》1990年第8期494-496,共3页Physics

基　　金：国家高技术计划新概念;新构思探索研究资助项目。

摘　　要：本文介绍了热壁外延的原理。

关 键 词：热壁外延 气相外延技术 单晶 外延 

分 类 号：TN304.054[电子电信—物理电子学]