硝酸氧化法制备液晶显示器薄膜晶体管（TFT）  

出　　处：《金属功能材料》2011年第3期49-49,共1页Metallic Functional Materials

摘　　要：日本大阪大学小林光教授等人开发成功一项制备TFT的新技术一一硝酸氧化法。该技术的关键在于把硅浸于浓度高于68％的硝酸水溶液中，在低于120℃温度下硝酸分解而产生具有强氧化力的离解氧离子与硅起反应，

关 键 词：硝酸氧化法 薄膜晶体管 液晶显示器 制备 日本大阪大学 新技术 TFT 水溶液 

分 类 号：TN321.5[电子电信—物理电子学]