将真空镀膜机改装为真空离子镀膜机  

作　　者：庞述先[1] 

机构地区：[1]西北工业大学应用物理系

出　　处：《实验技术与管理》1999年第6期44-45,共2页Experimental Technology and Management

关 键 词：离子镀膜 真空镀膜机 真空离子镀膜机 

分 类 号：TB79[一般工业技术—真空技术]