μ—PD工艺生长GexSi1—x纤维单晶  

作　　者：未休 

出　　处：《电子材料快报》1999年第2期15-16,共2页

关 键 词：μ-PD 硅化锗 纤维单晶 生长 

分 类 号：TN304.24[电子电信—物理电子学] O78[理学—晶体学]