CZ法生长富Si Ge1—xSix合金体单晶  

作　　者：苏宇欢 

出　　处：《电子材料快报》1999年第4期2-3,共2页

关 键 词：CZ法 生长 硅 硅化锗 合金 单晶 

分 类 号：O78[理学—晶体学]