CZ法生长GeSi合金晶体  

作　　者：岫林 

出　　处：《电子材料快报》1999年第10期6-7,共2页

关 键 词：CZ法 生长 硅化锗 合金 晶体 

分 类 号：O78[理学—晶体学] TG13[一般工业技术—材料科学与工程]