LSIC版图扫描场分割方式的研究  

Study on Scanning Field Division Methods for LSIC Patterns

作　　者：胡咏梅[1] 胡毅[1] 贾春娟 王绍钧[1] 

机构地区：[1]山东工业大学自动化工程系,济南250061

出　　处：《微细加工技术》1999年第4期10-13,共4页Microfabrication Technology

摘　　要：对版图扫描场分割方式进行了研究，详细论述了ｍ ×ｎ Ｓ形扫描场分割方式和任意扫描场分割方式。The article introduces the m×n S shape scanning field division method and the arbitrary scanning field division method.

关 键 词：版图 扫描场 电子束曝 LSIC 集成电路 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TN405.98