利用真空蒸镀的氧化锌薄膜进行绝缘体表面金属化  

作　　者：杨永安[1] 魏毅斌 姚建年[1] 

机构地区：[1]中国科学院感光化学研究所光电光催化青年实验室,北京100101

出　　处：《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》1999年第A12期1379-1382,共4页

基　　金：国家自然科学基金(批准号:59672016);中国科学院资助项目

摘　　要：利用真空蒸镀法在光滑的玻璃表面直接制备一层ZnO多晶薄膜,与喷射热分解法制备的ZnO薄膜相比,允许的线宽更窄更细。经Pd溶液活化后,继续浸入化学镀铜液中,在Pd^(2+)的催化作用下,玻璃表面沉积出一层光亮的铜膜。表明使用该方法易于获取附着牢固、颗粒细小和导电性好的金属铜层,有望用于印刷电路板的高密度配线。

关 键 词：氧化锌薄膜 真空蒸镀 表面金属化 绝缘体 

分 类 号：TM215[一般工业技术—材料科学与工程] TN41[电气工程—电工理论与新技术]