微机械音叉陀螺的误差源研究  

Error Sources in Micromachined Tuning-Fork Gyroscope

作　　者：李万玉 阮爱武[2] 罗晋生[3] 冯培德 

机构地区：[1]航空工业总公司第618研究所七室,西安710065 [2]西北工业大学自动控制系,西安710072 [3]西安交通大学电子与信息学院,西安710049

出　　处：《传感技术学报》1999年第4期243-249,共7页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘　　要：定性地讨论了微机械音叉陀螺特有的一些误差源，主要有机械结构的 Ｂｒｏｗｎｉａｎ噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等．对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。Some error sources peculiar to micromachined tuning fork gyro, as microstructure Brownian noise, electronic noise, mechanical coupling effects, electromechanical crosstalk, etc. are presented qualitatively. The knowledge of aforementioned error sources is the basis of microstructure manufacture and circuit design.

关 键 词：微机械音叉陀螺 误差源 微机械陀螺 

分 类 号：V241.554[航空宇航科学与技术—飞行器设计] U666.123[交通运输工程—船舶及航道工程]