半导体器件模拟中的有限元三角网格误差分析  

Error Analysis for Finite Element Triangle mesh in Semiconductor Device Simulation

作　　者：夏君[1] 杨廉峰[1] 刘其贵 吴金 

机构地区：[1]东南大学微电子中心,南京210096

出　　处：《电子器件》1999年第4期229-233,共5页Chinese Journal of Electron Devices

基　　金：国家自然科学基金!(69806002);江苏省自然科学基金!(BK97006)

摘　　要：本文阐述了半导体器件模拟中的有限元三角网格误差分析的基本原理，在分析比较了几种误差估计方法之后，选择了一种比较优秀的方法作为自适应网格生成的误差指示器。This paper describes the principle of the error analysis for finite element triangle mesh in semiconductor device simulation. After analyzing and comparing some methods of error analysis, we selected a fineness method which would be used to the error indicator for the adaptive mesh generation.

关 键 词：有限元 半导体器件 误差分析 网格 数值模拟 

分 类 号：TN302[电子电信—物理电子学]