环状楔形铁薄膜的褶皱形貌研究  

作　　者：张程[1] 余森江[1] 张永炬[2] 王艳[1] 周红[1] 

机构地区：[1]中国计量学院应用物理系 [2]台州学院物理系

出　　处：《科技信息》2011年第22期18-19,共2页Science & Technology Information

基　　金：浙江省大学生科技创新项目(No.2010R409021);国家自然科学基金(No.10874159);浙江省自然科学基金(No.Y7080042)资助课题

摘　　要：采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了环状楔形铁薄膜系统,研究了该薄膜的褶皱形貌。实验表明,楔形铁薄膜在沉积过程中受到硅油的淬火作用而产生较大的压应力,并以电话线褶皱的形式得以释放。电话线褶皱在大气气氛中成核并缓慢生长,其生长周期可达几天到几十天。由于圆环边界的限制作用,电话线褶皱在边界处往往形成平行于周边的正弦结构,而远离边界处则形成无规的电话线褶皱网格。楔形铁薄膜的厚度由边界处往内部递减,因而电话线褶皱的尺寸(包括正弦波长和振幅)也逐渐衰减。

关 键 词：楔形薄膜 褶皱 内应力 边界效应 

分 类 号：O613.71[理学—无机化学]