王艳

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:中国计量学院更多>>
发文主题:形貌环状褶皱内应力更多>>
发文领域:理学更多>>
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所获基金:浙江省大学生科技创新项目浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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环状楔形铁薄膜的褶皱形貌研究被引量:3
《科技信息》2011年第22期18-19,共2页张程 余森江 张永炬 王艳 周红 
浙江省大学生科技创新项目(No.2010R409021);国家自然科学基金(No.10874159);浙江省自然科学基金(No.Y7080042)资助课题
采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了环状楔形铁薄膜系统,研究了该薄膜的褶皱形貌。实验表明,楔形铁薄膜在沉积过程中受到硅油的淬火作用而产生较大的压应力,并以电话线褶皱的形式得以释放。电话线褶皱在大气气氛中成核并缓慢生长...
关键词:楔形薄膜 褶皱 内应力 边界效应 
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