美国斯坦福大学开发纳米电路剥离工艺  

出　　处：《上海化工》2011年第9期49-49,共1页Shanghai Chemical Industry

摘　　要：美国斯坦福大学（Stanforduniversity）的研究人员最近开发出一种创新的晶圆等级（Wafer-scale）剥离（Lift—off）工艺，能在可重复使用的硅晶圆上制作纳米线电路，然后将之移植到任意形状的、采用任何一种材料的衬底上。

关 键 词：美国斯坦福大学 剥离工艺 纳米电路 开发 可重复使用 研究人员 任意形状 硅晶圆 

分 类 号：TQ342.93[化学工程—化纤工业]