金属介质膜光栅衍射特性研究  

Diffraction Performance of Metal-dielectric Grating

作　　者：孔伟金[1] 王书浩[1] 张文飞[1] 魏世杰[1] 云茂金[1] 孙欣[1] 郑併斌[1] 

机构地区：[1]青岛大学物理科学学院,山东青岛266071

出　　处：《青岛大学学报（自然科学版）》2011年第3期23-25,共3页Journal of Qingdao University(Natural Science Edition)

基　　金：国家自然科学基金项目(批准号:10804060;1090408)

摘　　要：叙述了严格耦合波分析方法的理论框架,基于严格耦合波分析方法编制了金属介质膜光栅数值模拟程序。以-1级衍射效率优于97%的光谱宽度为评价函数,通过计算机优化分析,设计了一种金属介质膜光栅。在TE偏振模式下,能够在以800 nm为中心波长100 nm以上的光谱宽度内获得97%以上的衍射效率。The diffraction characteristic of metal and multi-layer dielectric grating （MMDG） was analyzed with the method of rigorous coupled wave. Taking the --1 order diffraction efficiency higher than 99% as the merit function, the parameters of MMDG are optimized with the top layer being HfO2. Numerical calculation indicates that the diffraction efficiency is above 97% over a 100 nm wavelength band centered at 800 nm for TE mode.

关 键 词：光栅 金属介质模光栅 严格耦合波 衍射效率 超短激光脉冲 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]