基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制  

Research and fabrication of multi-parameter microsensor array for water quality monitoring based on integrated reference electrode

作　　者：张缓缓[1,2] 刘彬[1,2] 金庆辉[2] 刘咏松[1] 

机构地区：[1]浙江理工大学理学院,浙江杭州310018 [2]中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室,上海200050

出　　处：《传感器与微系统》2011年第10期99-101,105,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：上海市科委科研计划资助项目(09JC1416500;10391901600;1052nm06100);浙江理工大学科研启动基金资助项目(0813827-Y);浙江省教育厅科研计划资助项目(Y200909713)

摘　　要：研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电导率传感器的电极常数为2.723,可以对一般水体的电导率进行测定;氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0.99733接近于理论值,表明它可以准确表示水体的氧化还原电位值。An integrated microelectrode type sensor consisting of Ag/AgCl reference electrode for simultaneous measurement of temperature, conductivity and oxidation reduction potential （ORP）is fabricated using micro- electro-mechanical systems（MEMS） technology and electrochemical modification method. The resistance and the temperature has a good linear relationship. The constant of the conductivity electrode is 2. 723, so this sensor can measure the general water conductivity. Compared with the slope of the commercial ORP instrument, the slope of the integrated ORP sensor（0. 997 33 ）is close to the theoretical slope（ 1. 000 0 ）against quinhydrone calibration solutions.

关 键 词：微机电系统技术 Ag/AgCl参比电极 集成微电极 水质监测 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]