多晶硅尾气回收工艺研究进展  

Research progress on polycrystalline silicon tail gas recovery technology

作　　者：陈其国[1] 高建[2] 陈文龙[1] 

机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004 [2]南京大学固体微结构物理国家重点实验室,江苏南京210093

出　　处：《氯碱工业》2011年第9期1-3,共3页Chlor-Alkali Industry

摘　　要：综述多晶硅尾气回收工艺和方法,探讨新型膜分离技术在多晶硅尾气回收中的应用前景。The recovery process and method of polysilicon tail gas are reviewed.The application prospects of new type membrane separation technology in polysilicon tail gas recovery are discussed.

关 键 词：多晶硅 尾气 膜分离技术 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]