新型双栅薄膜晶体管研究取得进步  

出　　处：《传感器世界》2011年第10期37-37,共1页Sensor World

摘　　要：双栅薄膜晶体管由于其具有可控的阈值电压调节特性，在湿度传感、pH值传感、病毒生物分子探测等领域应用广泛。然而，传统的双栅晶体管都是基于一种典型的三明治结构，半导体沟道被两层栅介质夹在中间，其实质上可以看做是一个底栅晶体管和项栅晶体管的共用沟道复合晶体管，制备这些器件需要多步的薄膜沉积工艺以及精准的对准光刻技术。因此，设计和开发一种具有简单器件工艺的高性能双侧栅晶体管具有重大的研究意义和潜在的应用价值。

关 键 词：薄膜晶体管 双栅 器件工艺 三明治结构 复合晶体管 调节特性 阈值电压 生物分子 

分 类 号：TN321.5[电子电信—物理电子学]