基于AFM探针的电晕放电研究  

Research on corona discharge based on AFM probe

作　　者：赵贵[1,2] 孔德义[1] Juergen Brugger 陈池来 程玉鹏[1,2] 李庄[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,安徽合肥230031 [2]中国科学技术大学,安徽合肥230027 [3]瑞士洛桑联邦理工学院

出　　处：《传感器与微系统》2011年第11期28-30,34,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60871037);中瑞科技合作基金资助项目(SSSTCEG28-032010)

摘　　要：针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。An atomic force microscopy （AFM） probe based corona discharge sampling device for desorption ionization in scanning probe microscope mass spectrometer （ SPM-MS ） is put forward. Through finite element analysis ,research is done on the mechanical and electrical character of the AFM probe tip. Electrical analysis shows that the field intensity around the AFM probe could achieve 0.32 ~ 62.4 V/p^m when the gap distance is 100 p^m and the applied voltage is 1 kV, validating the feasibility and usability of the sampling device. The relationship between discharge current I and applied voltage V is studied through corona discharge experiment. These works lay a foundation for developing the corona discharge for non-contact sampling based on AFM probe.

关 键 词：原子力显微镜探针 电晕放电 微机电系统 ANSYS 非接触式采样 

分 类 号：TH702[机械工程—仪器科学与技术]